本书共6章： 基于FDTD方法的表面微观缺陷显微散射暗场成像模型，建立了缺陷散射光近、远场场分布逆向识别数据库，实现微观缺陷的逆向标定和评价。着重讨论了各种复杂属性的光学元件表面的微弱缺陷的机器视觉照明及检测方法。围绕表面疵病的机器视觉中光源、样品及最优成像问题展开，基于双向反射分布函数BRDF，通过相机、被测物及光源场景建模和像函数求解，通过光线追迹建模取代繁琐的实验。针对最复杂的高次曲面、非球面的表面缺陷检测的难题，通过最佳光源照明方式、自动定中建模，基于投影变换的高精度、高效的全口径图像拼接实现三维空间微观缺陷的数字化评价。
