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多尺度级联场增强金属纳米结构的构筑和性能研究

作者:朱振东出版时间：2018/12/1出版社：清华大学出版社
ISBN:9787302515050价格:￥69
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内容简介
本文针对两种典型的多尺度体系开展研究，以多尺度结构的低成本、大面积制备为研究重点，以室温纳米压印和多参数刻蚀为主导，研究多尺度结构制备中的若干共性工艺难题，实现了最小关键尺寸的三维金属纳米结构的高质量、稳定可控的制备。
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